精度和精度等级
精度是指测量结果和实际值的一致程度，是仪表基本误差的最大允许值，习惯上也简单地说为基本误差或允许误差。精度高意味着系统误差和随机误差都很小。
精度等级是仪表按精度高低分成的等级，它决定仪表在标准条件下的误差限。仪表的精度等级是根据引用误差来划分的，如某台仪表的最大基本允许引用误差为±1.5%，则该仪表的精度等级为 1.5 级。
滞环、死区和回差
滞环是指由输入增大的上升段和减小的下降段构成的特性曲线所表征的现象。
死区是指输入量的变化不致引起输出量有任何可察觉变化的有限区间。死区用输入量程的百分数表示。
回差（也叫变差）是指输入量上升和下降时，同一输入的两相应输出值间（若无其它规定，指全范围行程）的最大差值。回差包括滞环和死区，并以输出量程的百分数表示。
重复性误差和再现性误差
重复性误差是指在同一工作条件下，对同一输入值按同一方向，连续多次测量的输出值之间的差值。一般用量程的百分数表示。
再现性误差是指在同一工作条件下，在规定时间内对同一输入值两个相反方向重复测量的输出值之间的最大差值。再现性误差是包括重复性误差、滞环、死区和漂移的综合性指标，一般用量程的百分数表示。
灵敏度和灵敏限
灵敏度是表达仪表对被测参数变化的灵敏程度。是指仪表在达到稳定状态后，输出信号变化量与引起此输出信号变化的被测参数变化量之比。它是仪表输入与输出转换曲线上的斜率。
灵敏限是指能够引起仪表输出信号发生变化的输入信号的最小变化量。一般，仪表的灵敏限的数值不应大于仪表允许误差绝对值的一半。灵敏限实际上就是死区。
非线性误差
对于理论上具有线性特性的仪表，实际上输入输出特性曲线对理论线性特性的偏离程度。
动态误差
由于检测环节中存在的元件动惯量（时间常数），测量传递滞后（纯滞后时间）带来的误差。
时间常数
时间常数是指当输入阶跃信号时，仪表的输出值达到其稳定值的 63.2%所需的时间。
全行程时间
全行程时间是指当输入满量程阶跃变化时，输出由下限至上限，或反行程移动所需的时间。通常以全量程的 5%作为输出下限值，全量的 95%作为输出上限值。
稳定时间
稳定时间是指从输入信号跃变化起，到输出信号进入并不再超过偏离其最终值规定（如 5%）时的间隔时间。
滞后时间
滞后时间也叫时滞，是指当输入产生变化的瞬间起，到它引起输出量开始变化的瞬间止的时间。
综合误差
综合误差TPE（Toal Probable Error）是指仪表精度以及诸如静压、温度等多种附加误差的均方根误差。
稳定性（度）和可用性
稳定性是指在规定的工作条件下，仪表性能随时间保持不变的能力。通常用零点漂移来衡量。
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